Reaktywne rozpylanie magnetronowe to dojrzała technika osadzania cienkiej warstwy związku na szerokiej gamie podłoży jako warstwa wierzchnia lub jako warstwa pośrednia w powłoce wielowarstwowej. Zakres „cienkich” waha się od kilku nanometrów do kilku mikrometrów.
Dlaczego rozpylanie magnetronowe?
Napylanie magnetronowe to proces zderzenia między padającymi cząsteczkami a celami … Napylanie magnetronowe zwiększa gęstość plazmy poprzez wprowadzenie pola magnetycznego na powierzchnię katody docelowej i wykorzystanie ograniczeń pole magnetyczne na naładowanych cząstkach w celu zwiększenia szybkości rozpylania.
Co oznacza napylanie reaktywne?
Napylanie reaktywne to proces, który umożliwia osadzanie się związków poprzez wprowadzenie reaktywnego gazu (zwykle tlenu lub azotu) do plazmy, która jest zwykle tworzona przez gaz obojętny, taki jak argon (najczęściej), ksenon lub krypton.
Jak działa rozpylanie magnetronowe?
Napylanie magnetronowe to technologia osadzania wykorzystująca plazmę gazową, która jest generowana i ograniczona do przestrzeni zawierającej materiał, który ma zostać osadzony – „cel”. … Te zderzenia powodują odpychanie elektrostatyczne, które „wybija” elektrony z rozpylanych atomów gazu, powodując jonizację.
Dlaczego fale radiowe?
Rozpylanie na częstotliwości radiowej lub radiowej to technika polegająca na zmianie potencjału elektrycznego prądu w środowisku próżni na częstotliwościach radiowych, aby uniknąć gromadzenia się ładunku na niektórych typach materiałów docelowych do rozpylania, co z czasem może spowodować wyładowanie łukowe do plazmy, która wypluwa kropelki…
